CCZK-SFL連續(xù)磁控鍍膜生產(chǎn)線

腔體結(jié)構(gòu)：采用高效的臥式連續(xù)磁控鍍膜流水線，配備前后粗抽室，前后過渡室，前后精抽室，前后緩沖室，彩鍍室。

靶材設(shè)計(jì)：采用新型旋轉(zhuǎn)陰極靶材以及平面陰極靶材。

電源配置：配備大功率中頻磁控濺射電源

傳動系統(tǒng)：滾軸傳動，變頻可調(diào)，感應(yīng)式室門開啟系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)：擴(kuò)散泵（分子泵）+羅茨泵+機(jī)械泵+深冷泵

可鍍膜玻璃或平板，尺寸可定制

生產(chǎn)線安采用了先進(jìn)的插板閥進(jìn)行腔室隔斷，可以實(shí)現(xiàn)有效隔斷，穩(wěn)定工藝氣體。

生產(chǎn)線采用了均勻進(jìn)氣管結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，氣流注入均勻平緩；

電氣控制：生產(chǎn)線采用PLC全過程控制，快速的生產(chǎn)節(jié)拍，配備工業(yè)計(jì)算機(jī)顯示系統(tǒng)。

人機(jī)對話：控制系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)人、機(jī)對話，及時(shí)對生產(chǎn)過程進(jìn)行必要干預(yù)。運(yùn)行過程有報(bào)警提示和故障顯示，故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。

其他技術(shù)參數(shù)：

極限真空： 3.0×10-2Pa

水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa；

一般規(guī)格：W1200mm*L2000mm(單室） W1500mm*L2400mm(單室）

真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做

ITO導(dǎo)電膜鍍膜，幕墻玻璃，非晶硅太陽能電池，Low-e低輻射玻璃，鋁鏡彩鏡等各種產(chǎn)品的連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)。