真空電鍍設(shè)備是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的設(shè)備。真空電鍍設(shè)備包括很多類,如離子蒸發(fā)、磁控濺射、電子槍等。真空電鍍設(shè)備鍍出的薄膜具有硬度高、耐腐蝕、表面光滑、美觀等優(yōu)點。有些客戶向我們反映,有時鍍膜成品會出現(xiàn)掉膜現(xiàn)象,這是怎么回事?今天,馳誠小編就幫用戶分析一下鍍膜產(chǎn)品掉膜的原因。膜層脫落的原因有很多也很復(fù)雜,我們可以從以下幾點進行分析:
1、檢查產(chǎn)品表面的清潔度
鍍膜產(chǎn)品表面的潔凈度會影響鍍膜的附著能力,保持表面清潔度可以通過在離子源清洗時放大氬氣、延長時間。
2、注意清洗過程
鍍膜前是否清洗到位,是否有更換清洗液。
3、鍍膜工藝
檢查工藝參數(shù)是否有變動,對什么時間和電流做適當(dāng)調(diào)整。
4、靶材
檢查靶材,如鈦靶,檢查是否中毒,要及時更換。
5、真空腔是否故障
對真空腔進行檢漏。
6、觀察產(chǎn)品表面是否氧化
產(chǎn)品表面氧化的原因有很多,根據(jù)實際情況進行判斷和處理。
遇到掉膜問題的??梢愿鶕?jù)以上步驟進行分析和排除。