1)所需設(shè)備:CCZK-900ION-T系列多弧離子工具鍍膜機
2)獲得膜層:TiN(氮化鈦),AlN(氮化鋁),CrN(氮化鉻),TiC(碳化鈦),TiAlN(氮化鋁鈦)等
3)涂裝流程:工具產(chǎn)品的前處理(超聲波清洗或表面一定程度的拋光)----烘箱烘干----真空離子鍍膜(2H-12H)---- 冷卻---出爐---成品包裝
4)基本配置:
腔體結(jié)構(gòu):D900mm*H1100mm,立式前開門
腔體材質(zhì):304不銹鋼材質(zhì)
烘烤系統(tǒng):鎧裝加熱550℃ PID溫控
冷卻系統(tǒng):不銹鋼水冷套裝
多弧電源:200A 10套
多弧靶材:鈦靶或不銹鋼靶 10套
偏壓電源:20KW 1套
Bias power:20kw 1set
氣體控制:4路氣體流量控制系統(tǒng)
泵抽系統(tǒng):1臺分子泵+1臺羅茨泵+1臺直聯(lián)泵(德國萊寶)
![超硬質(zhì)功能鍍膜 超硬質(zhì)功能鍍膜](/upload/image/20200910/15996995139096754.jpg)
智能控制:PLC+臺灣研華工業(yè)計算機+HMI智能人機界面控制+報警系統(tǒng)
安裝服務:免費提供客戶現(xiàn)場的安裝調(diào)試服務
保修服務:免費提供12個月的保修服務
培訓服務:免費提供客戶操作人員的基本培訓服務
5)需求配套設(shè)施:
空壓機+儲氣罐+水泵+水冷設(shè)備+超聲波清洗機
水壓流速:0.2Mpa 3m3/h
氣 壓:0.4-0.8mpa
水 溫:小于25℃
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